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パルス超音速原子状酸素ビームを利用したSi常温酸化法の開発

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パルス超音速原子状酸素ビームを利用したSi常温酸化法の開発

資料種別
図書
著者
研究代表者 梅野正隆
出版者
[梅野正隆]
出版年
1999.4
資料形態
ページ数・大きさ等
30cm
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

[課題番号]: 09555004

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資料種別
図書
タイトルよみ
パルス チョウオンソク ゲンシジョウ サンソ ビーム オ リヨウシタ Si ジョウオン サンカホウ ノ カイハツ
著者・編者
研究代表者 梅野正隆
著者標目
梅野, 正隆 ウメノ, マサタカ
出版事項
出版年月日等
1999.4
出版年(W3CDTF)
1999
大きさ
30cm
並列タイトル等
平成9年度〜平成10年度科学研究費補助金研究成果報告書 : 基盤研究B2