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フォトニック結晶用シリサイド半導体薄膜の作製と光回路機能の検証

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フォトニック結晶用シリサイド半導体薄膜の作製と光回路機能の検証

資料種別
図書
著者
研究代表者 前田佳均
出版者
[前田佳均]
出版年
2008.5
資料形態
ページ数・大きさ等
30cm
NDC
-
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京都大学大学院エネルギー科学研究科

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資料種別
図書
タイトルよみ
フォトニック ケッショウヨウ シリサイド ハンドウタイ ハクマク ノ サクセイ ト ヒカリ カイロ キノウ ノ ケンショウ
著者・編者
研究代表者 前田佳均
著者標目
前田, 佳均 マエダ, ヨシヒト
京都大学大学院エネルギー科学研究科 キョウト ダイガク ダイガクイン エネルギー カガク ケンキュウカ
出版事項
出版年月日等
2008.5
出版年(W3CDTF)
2008
大きさ
30cm
並列タイトル等
平成17年度~平成19年度科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書 : 課題番号 17360011
Synthesis of semiconducting silicides thin films far photonic crystals and investigation of optical circuit functions