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2005 proceedings : Ninth [i.e. 10th] International Chemical-Mechanical Planarization for ULSI Multilevel Interconnection Conference (CMP-MIC) : February 23-25, 2005, Marriott Hotel, Fremont, CA

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2005 proceedings : Ninth [i.e. 10th] International Chemical-Mechanical Planarization for ULSI Multilevel Interconnection Conference (CMP-MIC) : February 23-25, 2005, Marriott Hotel, Fremont, CA

資料種別
図書
著者
a specialty conference of 2005 Microelectronics Institute Inter on-chip Connection
出版者
IMIC Headquarters?
出版年
2005]
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
28 cm
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記：

"Library of Congress No. 89-644090."Includes bibliographical referencesCMP-MIC Catalog No. 05 IMIC-1000P

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図書
タイトル
2005 proceedings : Ninth [i.e. 10th] International Chemical-Mechanical Planarization for ULSI Multilevel Interconnection Conference (CMP-MIC) : February 23-25, 2005, Marriott Hotel, Fremont, CA
著者・編者
a specialty conference of 2005 Microelectronics Institute Inter on-chip Connection
著者標目
International Chemical-Mechanical Planarization for ULSI Multilevel Interconnection Conference
Microelectronics Institute Inter on-chip Connection
IMIC
出版事項
IMIC Headquarters?
出版年月日等
2005]
出版年（W3CDTF）
2005
大きさ
28 cm
並列タイトル等
International Chemical-Mechanical Planarization for ULSI Multilevel Interconnection Conference (CMP-MIC)
9th [i.e. 10th] International Chemical-Mechanical Planarization for ULSI Multilevel Interconnection Conference
出版地（国名コード）
us