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原子層選択成長を利用した超微細トランジスタ作製法の研究

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原子層選択成長を利用した超微細トランジスタ作製法の研究

資料種別
図書
著者
研究代表者 横山新
出版者
広島大学ナノデバイス・システム研究センター
出版年
2003.3
資料形態
ページ数・大きさ等
30cm
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

課題番号: 11450125

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資料種別
図書
タイトルよみ
ゲンシソウ センタク セイチョウ オ リヨウ シタ チョウビサイ トランジスタ サクセイホウ ノ ケンキュウ
著者・編者
研究代表者 横山新
著者標目
横山, 新 ヨコヤマ, シン
出版年月日等
2003.3
出版年(W3CDTF)
2003
大きさ
30cm
出版地(国名コード)
ja