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マイクロマシニングによる弾性表面波ジャイロスコープの研究

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マイクロマシニングによる弾性表面波ジャイロスコープの研究

資料種別
図書
著者
研究代表者 樋口俊郎
出版者
樋口俊郎
出版年
1998.3
資料形態
ページ数・大きさ等
30cm
NDC
-
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一般注記:

研究分担者: 黒澤実[ほか]

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資料種別
図書
タイトルよみ
マイクロ マシニング ニヨル ダンセイ ヒョウメンハ ジャイロ スコープ ノ ケンキュウ
著者・編者
研究代表者 樋口俊郎
出版事項
出版年月日等
1998.3
出版年(W3CDTF)
1998
大きさ
30cm
並列タイトル等
平成7年度-9年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書
文部省科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書