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有機金属気相成長法によるワイドギャップ化合物半導体の原子層エピタキシーの研究

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有機金属気相成長法によるワイドギャップ化合物半導体の原子層エピタキシーの研究

資料種別
図書
著者
研究代表者尾鍋研太郎
出版者
尾鍋研太郎
出版年
1992
資料形態
ページ数・大きさ等
26cm
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

研究分担者: 伊藤良一, 白木靖寛,深津晋[等]平成3年度科学研究費補助金(一般研究B)研究成果報告書(研究課題番号01460071)

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資料種別
図書
タイトルよみ
ユウキ キンゾク キソウ セイチョウホウ ニ ヨル ワイドギャップ カゴウブツ ハンドウタイ ノ ゲンシソウ エピタキシー ノ ケンキュウ
著者・編者
研究代表者尾鍋研太郎
出版事項
出版年月日等
1992
出版年(W3CDTF)
1992
大きさ
26cm
出版地(国名コード)
ja