Gettering and defect engineering in semiconductor technology : GADEST 2003 : proceedings of the 10th International Autumn Meeting, Seehotel Zeuthen (suburb of Berlin) State of Brandenburg, Germany, September 21-26, 2003

Gettering and defect engineering in semiconductor technology : GADEST 2003 : proceedings of the 10th International Autumn Meeting, Seehotel Zeuthen (suburb of Berlin) State of Brandenburg, Germany, September 21-26, 2003

資料種別: 図書

著者: edited by H. Richter and M. Kittler

出版者: Scitec Publications

出版年: c2004

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: 25 cm

NDC: -

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一般注記：: Includes bibliographical references and index

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資料種別: 図書
ISBN: 9783908450825
タイトル: Gettering and defect engineering in semiconductor technology : GADEST 2003 : proceedings of the 10th International Autumn Meeting, Seehotel Zeuthen (suburb of Berlin) State of Brandenburg, Germany, September 21-26, 2003
著者・編者: edited by H. Richter and M. Kittler
著者標目: International Autumn Meeting, Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology
Richter, H.
Kittler, M.
出版事項: Scitec Publications
出版年月日等: c2004
出版年（W3CDTF）: 2004
大きさ: 25 cm
出版地（国名コード）: sz
本文の言語コード: en
対象利用者: 一般
一般注記: Includes bibliographical references and index
関連情報: Diffusion and defect data : solid state data
https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000794054585088
関連情報（URI）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BB16175274#entity
掲載誌: Diffusion and defect data : solid state data
https://cir.nii.ac.jp/crid/1130000794054585088
連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : CiNii Research
提供元機関・データベース: CiNii Books
https://ci.nii.ac.jp/books
NACSIS書誌ID（NCID）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BB16175274 : BB16175274