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電子波干渉型真空マイクロエレクトロニクス素子の試作研究

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電子波干渉型真空マイクロエレクトロニクス素子の試作研究

資料種別
図書
著者
研究代表者 浅野種正
出版者
[九州工業大学マイクロ総合技術センター]
出版年
1995.3
資料形態
ページ数・大きさ等
26cm
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

課題番号: 05555010研究分担者: 比嘉勝也, 青木誠志, 牧平憲治文献: 各論末

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資料種別
図書
タイトルよみ
デンシハ カンショウガタ シンクウ マイクロ エレクトロニクス ソシ ノ シサク ケンキュウ
著者・編者
研究代表者 浅野種正
著者標目
浅野, 種正 アサノ, タネマサ
比嘉, 勝也 ヒガ, カツヤ
青木, 誠志 アオキ, サトシ
牧平, 憲治 マキヒラ, ケンジ
出版年月日等
1995.3
出版年(W3CDTF)
1995
大きさ
26cm
並列タイトル等
平成6年度科学研究費補助金(試験研究(B))研究成果報告書