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Development of Inspection Machine that Detect Small Particles Added on Surface with Precise Pattern by Capturing Backwards Scattered Polarized Light

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Development of Inspection Machine that Detect Small Particles Added on Surface with Precise Pattern by Capturing Backwards Scattered Polarized Light

資料種別
記事
著者
Tsuyoshi Nomuraほか
出版者
Fuji Technology Press Ltd.
出版年
2012-11-05
資料形態
デジタル
掲載誌名
International Journal of Automation Technology 6 6
掲載ページ
p.781-791
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資料詳細

要約等:

<jats:p>The paper discusses the development of inspectionmachine to detect small particle by capturing backwards scattered polarized light. The propos...

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書誌情報

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デジタル

資料種別
記事
出版年月日等
2012-11-05
出版年(W3CDTF)
2012-11-05
タイトル(掲載誌)
International Journal of Automation Technology
巻号年月日等(掲載誌)
6 6
掲載巻
6
掲載号
6
掲載ページ
781-791