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Low-voltage-exposure-enabled hydrogen silsesquioxane bilayer-like process for three-dimensional nanofabrication

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Low-voltage-exposure-enabled hydrogen silsesquioxane bilayer-like process for three-dimensional nanofabrication

資料種別
記事
著者
Quan Xiangほか
出版者
IOP Publishing
出版年
2016-05-13
資料形態
デジタル
掲載誌名
Nanotechnology 27 25
掲載ページ
p.254002-
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デジタル

資料種別
記事
出版年月日等
2016-05-13
出版年(W3CDTF)
2016-05-13
タイトル(掲載誌)
Nanotechnology
巻号年月日等(掲載誌)
27 25
掲載巻
27
掲載号
25
掲載ページ
254002-