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A Micro-Stage for Linear-Rotary Positioning

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A Micro-Stage for Linear-Rotary Positioning

資料種別
記事
著者
Yu Xin Pengほか
出版者
Trans Tech Publications, Ltd.
出版年
2012-11
資料形態
デジタル
掲載誌名
Key Engineering Materials 523-524
掲載ページ
p.650-655
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資料詳細

要約等:

<jats:p>In this paper, a novel Z-θZ micro-stage is designed and constructed by utilizing an impact friction drive. The stage is configured by two driv...

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書誌情報

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デジタル

資料種別
記事
出版年月日等
2012-11
出版年(W3CDTF)
2012-11
タイトル(掲載誌)
Key Engineering Materials
巻号年月日等(掲載誌)
523-524
掲載巻
523-524
掲載ページ
650-655
掲載年月日(W3CDTF)
2012-11