超精密加工機械の高精度化の研究

• 資料種別: 記事
• タイトル: 超精密加工機械の高精度化の研究
• 著者標目: 田中 克敏; 福田 将彦; 覚張 勝治; 鈴木 清; 植松 哲太郎
• 出版年月日等: 2007
• 出版年（W3CDTF）: 2007
• 並列タイトル等: 第2報:リニアモータ駆動方式有限形V-Vころがり案内の検討; 2<SUP>nd</SUP> report: Investigation on the performance of theV-V roller guide-way table driven by a linear motor with cores
• タイトル（掲載誌）: 砥粒加工学会誌
• 巻号年月日等（掲載誌）: 51 8
• 掲載巻: 51
• 掲載号: 8
• 掲載ページ: 482-487
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2007
• ISSN（掲載誌）: 09142703
• ISSN-L（掲載誌）: 09142703
• 出版事項（掲載誌）: The Japan Society for Abrasive Technology
• 本文の言語コード: ja
• 件名標目: V-V roller guide way; linear motor; quadrant projections; waving; cogging
• 対象利用者: 一般
• DOI: 10.11420/jsat.51.482
• 連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : CiNii Research; https://cir.nii.ac.jp/
• 提供元機関・データベース: Japan Link Center; https://japanlinkcenter.org/top; CiNii Articles
• NII論文ID: 130004494435

• 要約等: 超精密加工機械の高精度化を図ることを目的とした研究の一環として，前報では，自成絞り方式空気静圧スピンドルの剛性，回転精度および発熱に及ぼす諸要因の影響を調査し，スピンドル性能を向上させるための方策を論じた．本報告では，超精密加工機械の高精度化に不可欠な直線案内機構および送り機構について検討を行った．...