プラズマプロセス用大面積プラズマの生成

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資料種別: 図書
タイトル: プラズマプロセス用大面積プラズマの生成
タイトルよみ: プラズマプロセスヨウダイメンセキプラズマノセイセイ
著者・編者: 佐藤徳芳研究代表者
著者標目: 佐藤, 徳芳サトウ, ノリヨシ
出版事項: [佐藤徳芳]
出版年月日等: 1996.3
出版年（W3CDTF）: 1996
大きさ: 30cm
並列タイトル等: 平成7年度科学研究費研究成果(国際学術研究) : (07044303)
出版地（国名コード）: ja
対象利用者: 一般
一般注記: 課題番号: 07044303
情報源は標題紙による
科研費データベースにおける研究課題番号: 07044308
関連情報: 科学研究費補助金(国際学術研究)研究成果報告書
https://cir.nii.ac.jp/crid/1970304959871954701
関連情報（URI）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BB11775933#entity
掲載誌: 科学研究費補助金(国際学術研究)研究成果報告書
https://cir.nii.ac.jp/crid/1970304959871954701
連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : CiNii Research
https://cir.nii.ac.jp/
提供元機関・データベース: CiNii Books
https://ci.nii.ac.jp/books
NACSIS書誌ID（NCID）: BB11775933
https://ci.nii.ac.jp/ncid/BB11775933