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速度可変シャッターを用いた軟X線多層膜の精密膜厚分布制御と非球面形状創成への応用

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速度可変シャッターを用いた軟X線多層膜の精密膜厚分布制御と非球面形状創成への応用

資料種別
図書
著者
羽多野忠研究代表
出版者
[羽多野忠]
出版年
2005.3
資料形態
ページ数・大きさ等
30cm
NDC
-
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資料種別
図書
タイトルよみ
ソクド カヘン シャッター オ モチイタ ナンXセン タソウマク ノ セイミツ マクアツ ブンプ セイギョ ト ヒキュウメン ケイジョウ ソウセイ エノ オウヨウ
著者・編者
羽多野忠研究代表
著者標目
羽多野, 忠 ハタノ, タダシ
出版事項
出版年月日等
2005.3
出版年(W3CDTF)
2005
大きさ
30cm
並列タイトル等
平成15年度~平成16年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書(課題番号15560016)