European Workshop Materials for Advanced Metallization : MAM '97 : abstracts booklet, Villard-de-Lans, France, March 16-19, 1997

資料種別: 図書

著者: with the scientific support of GRESSI (Grenoble Submicron Silicon), INPG (Institut National Polytechnique Grenoble) ; with the financial help of CEA-LETI (Laboratorie d'Electronique, de Technologie et d'Instrumentation ... [et al.] ; sponsorship of IUVSTA (International Union for Vacuum Science, Technique and Applications), Ministère de l'Education nationale, de l'Enseignement supérieue et de la Recherche, IEEE-EDS

出版者: Société Française du Vide

出版年: 1997

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: 24 cm

NDC: -

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資料に関する注記

一般注記：: Includes bibliographical references and indexesIEEE catalog number 97TH8287"Supplément à la Revue (Le Vide : science, technique et applications) No.28...

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資料種別: 図書
タイトル: European Workshop Materials for Advanced Metallization : MAM '97 : abstracts booklet, Villard-de-Lans, France, March 16-19, 1997
著者・編者: with the scientific support of GRESSI (Grenoble Submicron Silicon), INPG (Institut National Polytechnique Grenoble) ; with the financial help of CEA-LETI (Laboratorie d'Electronique, de Technologie et d'Instrumentation ... [et al.] ; sponsorship of IUVSTA (International Union for Vacuum Science, Technique and Applications), Ministère de l'Education nationale, de l'Enseignement supérieue et de la Recherche, IEEE-EDS
著者標目: European Workshop on Materials for Advanced Metallization
Grenoble Submicron Silicon
Institut national polytechnique de Grenoble
https://ci.nii.ac.jp/author/DA02100163
Laboratoire d'Electronique, de Technologie et d'Instrumentation
International Union for Vacuum Science, Technique and Applications
https://ci.nii.ac.jp/author/DA03131093
Ministére de l'Education nationale, de l'Enseignement supérieur et de la Recherche
IEEE-EDS
出版事項: Société Française du Vide
出版年月日等: 1997
出版年（W3CDTF）: 1997
大きさ: 24 cm
並列タイトル等: MAM '97
出版地（国名コード）: fr
本文の言語コード: en
対象利用者: 一般
一般注記: Includes bibliographical references and indexes
IEEE catalog number 97TH8287
"Supplément à la Revue (Le Vide : science, technique et applications) No.283, Janvier-Févier-Mars, 1997"
関連情報（URI）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/BA48450655#entity
連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : CiNii Research
https://cir.nii.ac.jp/
提供元機関・データベース: CiNii Books
https://ci.nii.ac.jp/books
NACSIS書誌ID（NCID）: BA48450655
https://ci.nii.ac.jp/ncid/BA48450655