イオンクラスタービー...

イオンクラスタービーム蒸着法(その6)

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イオンクラスタービーム蒸着法(その6)

Call No. (NDL)
Z17-692
Bibliographic ID of National Diet Library
024035917
Material type
記事
Author
林 昭
Publisher
東京 : 加工技術研究会
Publication date
2012-10
Material Format
Paper
Journal name
コンバーテック 40(10)=475:2012.10
Publication Page
p.120-123
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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
記事
Author/Editor
林 昭
Author Heading
Alternative Title
Ionized Cluster Beam Deposition and Epitaxy
Periodical title
コンバーテック
No. or year of volume/issue
40(10)=475:2012.10
Volume
40
Issue
10
Sequential issue number
475