光干渉方式の非接触表面・層断面形状計測システムを利用した表面微細形状の温度依存性評価 (特集高機能フィルムを支える材料技術)

光干渉方式の非接触表面・層断面形状計測システムを利用した表面微細形状の温度依存性評価

(特集高機能フィルムを支える材料技術)

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Material Type: 記事
Title: 光干渉方式の非接触表面・層断面形状計測システムを利用した表面微細形状の温度依存性評価
Author/Editor: 神津順一
Series Title: 特集高機能フィルムを支える材料技術
Author Heading: 神津順一
Periodical title: Polyfile = ポリファイル : 高分子関連技術情報誌
No. or year of volume/issue: 50(7)=593:2013.7
Volume: 50
Issue: 7
Sequential issue number: 593
Pages: 22-25
Publication date of volume/issue (W3CDTF): 2013-07
ISSN (Periodical Title): 0910-2175
ISSN-L (Periodical Title): 0910-2175
Publication (Periodical Title): 東京 : 大成社
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: ZP16
Target Audience: 一般
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Z17-153
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 024783942
http://id.ndl.go.jp/bib/024783942
Bibliographic Record Category (NDL): 632