Holdings of Libraries in Japan
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 記事
- Author/Editor
- 青木 真由古田 太朴澤 一幸 他
- Series Title
- Alternative Title
- 招待講演 ウェハ積層とVia-last型TSVを用いた三次元集積化CMOSデバイスの開発 ショウタイ コウエン ウェハ セキソウ ト Via-lastガタ TSV オ モチイタ サンジゲン シュウセキカ CMOS デバイス ノ カイハツ
- Periodical title
- 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
- No. or year of volume/issue
- 113(420):2014.1.29
- Volume
- 113
- Issue
- 420