軟X線源を用いたSiOx中nc-Siの形成 (電子ディスプレイ)

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軟X線源を用いたSiOx中nc-Siの形成

(電子ディスプレイ)

Call No. (NDL)
Z16-940
Bibliographic ID of National Diet Library
026034641
Material type
記事
Author
草壁 史ほか
Publisher
東京 : 電子情報通信学会
Publication date
2014-12-12
Material Format
Paper
Journal name
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 114(359):2014.12.12
Publication Page
p.99-102
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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
記事
Author/Editor
草壁 史
平野 翔大
部家 彰 他
Alternative Title
Formation of nc-Si in SiOx by Soft X-ray Irradiation
Periodical title
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
No. or year of volume/issue
114(359):2014.12.12
Volume
114
Issue
359