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雑誌電気学会研究会資料 PPT
Volume number2016(1)-2017(77):2016.5.26-2017.10.27 (欠番多し)
ArticleRFマグネトロンスパ...

RFマグネトロンスパッタリングにより合成したPVDF薄膜の評価 (プラズマ パルスパワー 放電合同研究会 放電,プラズマ,パルスパワー)

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RFマグネトロンスパッタリングにより合成したPVDF薄膜の評価

(プラズマ パルスパワー 放電合同研究会 放電,プラズマ,パルスパワー)

Call No. (NDL)
Z74-C90
Bibliographic ID of National Diet Library
027739427
Material type
記事
Author
高田 祐輔ほか
Publisher
東京 : 電気学会
Publication date
2016-10-20
Material Format
Paper
Journal name
電気学会研究会資料. PPT / パルスパワー研究会 [編] 2016(55-68):2016.10.20
Publication Page
p.1-3
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Paper

Material Type
記事
Title
RFマグネトロンスパッタリングにより合成したPVDF薄膜の評価
Author/Editor
高田 祐輔
菅原 光星
大津 康徳
Series Title
プラズマ パルスパワー 放電合同研究会 放電,プラズマ,パルスパワー
Author Heading
高田 祐輔
菅原 光星
大津 康徳
Alternative Title
Assessment of PVDF thin film prepared by RF magnetron sputtering
Periodical title
電気学会研究会資料. PPT / パルスパワー研究会 [編]
No. or year of volume/issue
2016(55-68):2016.10.20
Volume
2016
Issue
55-68