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原料間歇供給/変調型誘導熱プラズマ併用法を用いたSi/Cナノ粒子の一段的大量生成の試み (プラズマ研究会・プラズマ一般)

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原料間歇供給/変調型誘導熱プラズマ併用法を用いたSi/Cナノ粒子の一段的大量生成の試み

(プラズマ研究会・プラズマ一般)

Call No. (NDL)
Z43-229
Bibliographic ID of National Diet Library
028513401
Material type
記事
Author
清水 光太郎ほか
Publisher
東京 : 電気学会
Publication date
2017-08-12
Material Format
Paper
Journal name
電気学会研究会資料. PST / プラズマ研究会 [編] 2017(59-66):2017.8.12
Publication Page
p.29-34
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Paper

Material Type
記事
Author/Editor
清水 光太郎
石坂 洋輔
穏田 一輝
兒玉 直人
田中 康規
上杉 喜彦
石島 達夫
末安 志織
渡邉 周
中村 圭太郎
Alternative Title
A trial of Si/C Nanoparticles Synthesis using Pulse-Modulated Induction Thermal Plasmas with Intermittent Feeding of Feedstock
Periodical title
電気学会研究会資料. PST / プラズマ研究会 [編]
No. or year of volume/issue
2017(59-66):2017.8.12
Volume
2017
Issue
59-66