雑誌電子情報通信学会技術研究報告 : 信学技報
Volume number117(411):2018.1.25・26
Article有機材料薄膜形成にお...

有機材料薄膜形成における蒸着速度と膜厚分布の関係 (電子ディスプレイ)

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有機材料薄膜形成における蒸着速度と膜厚分布の関係

(電子ディスプレイ)

Call No. (NDL)
Z16-940
Bibliographic ID of National Diet Library
028824091
Material type
記事
Author
久保田 暁ほか
Publisher
東京 : 電子情報通信学会
Publication date
2018-01
Material Format
Paper
Journal name
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 117(411):2018.1.25・26
Publication Page
p.9-12
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Paper

Material Type
記事
Title
有機材料薄膜形成における蒸着速度と膜厚分布の関係
Author/Editor
久保田 暁
小南 裕子
原 和彦
中西 洋一郎
松本 鐘三
青島 洋一
Series Title
電子ディスプレイ
Author Heading
久保田 暁
小南 裕子
原 和彦
中西 洋一郎
松本 鐘三
青島 洋一
Alternative Title
Relationship between evaporation rate and thickness distribution under organic thin film preparation
Periodical title
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
No. or year of volume/issue
117(411):2018.1.25・26
Volume
117
Issue
411