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雑誌電気学会研究会資料 OQD
Volume number2018(22-30):2018.3.28
Article招待講演 新しいプロ...

招待講演 新しいプローブイオンを用いたSIMSによる有機材料分析 (光・量子デバイス研究会 微細加工技術とバイオ・メディカル応用)

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招待講演 新しいプローブイオンを用いたSIMSによる有機材料分析

(光・量子デバイス研究会 微細加工技術とバイオ・メディカル応用)

Call No. (NDL)
Z43-236
Bibliographic ID of National Diet Library
028999634
Material type
記事
Author
瀬木 利夫ほか
Publisher
東京 : 電気学会
Publication date
2018-03-28
Material Format
Paper
Journal name
電気学会研究会資料. OQD = The papers of technical meeting on optical and quantum devices, IEE Japan / 光・量子デバイス研究会 [編] 2018(22-30):2018.3.28
Publication Page
p.29-33
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Paper

Material Type
記事
Title
招待講演 新しいプローブイオンを用いたSIMSによる有機材料分析
Author/Editor
瀬木 利夫
青木 学聡
松尾 二郎
Series Title
光・量子デバイス研究会 微細加工技術とバイオ・メディカル応用
Author Heading
瀬木 利夫
青木 学聡
松尾 二郎
Alternative Title
Analysis of Organic Materials with SIMS Using New Probe Ions
Periodical title
電気学会研究会資料. OQD = The papers of technical meeting on optical and quantum devices, IEE Japan / 光・量子デバイス研究会 [編]
No. or year of volume/issue
2018(22-30):2018.3.28
Volume
2018
Issue
22-30