雑誌愛知工業大学総合技術研究所研究報告
Volume number21号 2019年12月
Articleパルスレーザ照射によ...

パルスレーザ照射により生ずるSi中ボイド近傍の性状 (平成30年度研究成果概要)

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パルスレーザ照射により生ずるSi中ボイド近傍の性状

(平成30年度研究成果概要)

Call No. (NDL)
Z74-B826
Bibliographic ID of National Diet Library
030466839
Material type
記事
Author
岩田 博之ほか
Publisher
豊田 : 愛知工業大学総合技術研究所
Publication date
2019-12
Material Format
Paper
Journal name
愛知工業大学総合技術研究所研究報告 / 研究報告編集委員会 編 (21):2019.12
Publication Page
p.92-94
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Paper

Material Type
記事
Title
パルスレーザ照射により生ずるSi中ボイド近傍の性状
Author/Editor
岩田 博之
河口 大祐
坂 公恭
Series Title
平成30年度研究成果概要
Author Heading
岩田 博之
河口 大祐
坂 公恭
Periodical title
愛知工業大学総合技術研究所研究報告 / 研究報告編集委員会 編
No. or year of volume/issue
(21):2019.12
Issue
21
Pages
92-94
Publication date of volume/issue (W3CDTF)
2019-12