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雑誌電気学会研究会資料 MSS
Volume number2020(20-45):2020.7.6・7
ArticleCuパターンのフェム...

Cuパターンのフェムト秒レーザ還元描画とナノ秒レーザによる酸化膜形成 (マイクロマシン・センサシステム研究会 マイクロマシン・センサシステムとそのプロセス技術および一般)

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Cuパターンのフェムト秒レーザ還元描画とナノ秒レーザによる酸化膜形成

(マイクロマシン・センサシステム研究会 マイクロマシン・センサシステムとそのプロセス技術および一般)

Call No. (NDL)
Z74-C94
Bibliographic ID of National Diet Library
030594422
Material type
記事
Author
吉冨 恭平ほか
Publisher
東京 : 電気学会
Publication date
2020-07
Material Format
Paper
Journal name
電気学会研究会資料. MSS 2020(20-45):2020.7.6・7
Publication Page
p.107-109
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Paper

Material Type
記事
Title
Cuパターンのフェムト秒レーザ還元描画とナノ秒レーザによる酸化膜形成
Author/Editor
吉冨 恭平
中村 奨
溝尻 瑞枝
Series Title
マイクロマシン・センサシステム研究会 マイクロマシン・センサシステムとそのプロセス技術および一般
Author Heading
吉冨 恭平
中村 奨
溝尻 瑞枝
Alternative Title
Cu micropatterns fabricated using femtosecond laser-induced reduction of CuO nanoparticles and subsequent surface oxidation using nanosecond laser
Periodical title
電気学会研究会資料. MSS
No. or year of volume/issue
2020(20-45):2020.7.6・7
Volume
2020
Issue
20-45