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雑誌電気学会研究会資料 MSS
Volume number2021(48-54):2021.8.6
Article光干渉型MEMS表面...

光干渉型MEMS表面応力センサによる室温エタノールガス検出 (マイクロマシン・センサシステム バイオ・マイクロシステム合同研究会 センサ,MEMS,一般)

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光干渉型MEMS表面応力センサによる室温エタノールガス検出

(マイクロマシン・センサシステム バイオ・マイクロシステム合同研究会 センサ,MEMS,一般)

Call No. (NDL)
Z74-C94
Bibliographic ID of National Diet Library
031704808
Material type
記事
Author
阪上 天斗ほか
Publisher
東京 : 電気学会
Publication date
2021-08-06
Material Format
Paper
Journal name
電気学会研究会資料. MSS 2021(48-54):2021.8.6
Publication Page
p.15-19
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Paper

Material Type
記事
Title
光干渉型MEMS表面応力センサによる室温エタノールガス検出
Author/Editor
阪上 天斗
高橋 利昌
崔 容俊
澤田 和明
高橋 一浩
Series Title
マイクロマシン・センサシステム バイオ・マイクロシステム合同研究会 センサ,MEMS,一般
Author Heading
阪上 天斗
高橋 利昌
崔 容俊
澤田 和明
高橋 一浩
Alternative Title
Room temperature ethanol gas detection by optical interferometric MEMS surface stress sensor
Periodical title
電気学会研究会資料. MSS
No. or year of volume/issue
2021(48-54):2021.8.6
Volume
2021
Issue
48-54