雑誌電気学会研究会資料 OQD
Volume number2022(21-32):2022.8.30
Article重水素化アルコールを...

重水素化アルコールを用いた室温原子層堆積法とそれによる薄膜のスピン偏極緩和防止効果 (光・量子デバイス研究会・医療工学応用一般(QIE-8))

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重水素化アルコールを用いた室温原子層堆積法とそれによる薄膜のスピン偏極緩和防止効果

(光・量子デバイス研究会・医療工学応用一般(QIE-8))

Call No. (NDL)
Z43-236
Bibliographic ID of National Diet Library
032353463
Material type
記事
Author
高木 駿ほか
Publisher
東京 : 電気学会
Publication date
2022-08-30
Material Format
Paper
Journal name
電気学会研究会資料. OQD = The papers of technical meeting on optical and quantum devices, IEE Japan / 光・量子デバイス研究会 [編] 2022(21-32):2022.8.30
Publication Page
p.1-3
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Paper

Material Type
記事
Title
重水素化アルコールを用いた室温原子層堆積法とそれによる薄膜のスピン偏極緩和防止効果
Author/Editor
高木 駿
熊谷 寛
武田 俊
Series Title
光・量子デバイス研究会・医療工学応用一般(QIE-8)
Author Heading
高木 駿
熊谷 寛
武田 俊
Alternative Title
Room temperature atomic layer deposition using deuterated alcohol and anti-spin polarization relaxation effect of the thin film
Periodical title
電気学会研究会資料. OQD = The papers of technical meeting on optical and quantum devices, IEE Japan / 光・量子デバイス研究会 [編]
No. or year of volume/issue
2022(21-32):2022.8.30
Volume
2022
Issue
21-32