雑誌トライボロジスト
Volume number67巻11号 2022年
Article接触式エアリアル表面...

接触式エアリアル表面粗さ測定の技術動向 : 測長原子間力顕微鏡を用いた事例 (特集 トライボロジーの研究・開発を支える表面粗さ測定・欠陥検出技術の最新動向)

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接触式エアリアル表面粗さ測定の技術動向 : 測長原子間力顕微鏡を用いた事例

(特集 トライボロジーの研究・開発を支える表面粗さ測定・欠陥検出技術の最新動向)

Call No. (NDL)
Z16-540
Bibliographic ID of National Diet Library
032525464
Material type
記事
Author
三隅 伊知子
Publisher
東京 : 日本トライボロジー学会 ; 1989-
Publication date
2022
Material Format
Paper
Journal name
トライボロジスト = Journal of Japanese Society of Tribologists / 日本トライボロジー学会 編 67(11):2022
Publication Page
p.758-763
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Paper

Material Type
記事
Title
接触式エアリアル表面粗さ測定の技術動向 : 測長原子間力顕微鏡を用いた事例
Author/Editor
三隅 伊知子
Series Title
特集 トライボロジーの研究・開発を支える表面粗さ測定・欠陥検出技術の最新動向
Author Heading
三隅 伊知子
Alternative Title
Recent Trends in Contact-Type Aerial Surface Roughness Measurement : Examples by Using a Metrological Atomic Force Microscope
Periodical title
トライボロジスト = Journal of Japanese Society of Tribologists / 日本トライボロジー学会 編
No. or year of volume/issue
67(11):2022
Volume
67
Issue
11