エアロゾルデポジッション法によるPLZT厚膜の形成と電気光学空間光変調器への応用 (機構デバイス)

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エアロゾルデポジッション法によるPLZT厚膜の形成と電気光学空間光変調器への応用

(機構デバイス)

Call No. (NDL)
Z16-940
Bibliographic ID of National Diet Library
10274214
Material type
記事
Author
山口 貴志ほか
Publisher
東京 : 電子情報通信学会
Publication date
2009-06-19
Material Format
Paper
Journal name
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 109(89) 2009.6.19
Publication Page
p.11~16
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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
記事
Author/Editor
山口 貴志
久米 章博
内田 裕久 他
Series Title
Alternative Title
Fabrication of PLZT thick films formed by aerosol deposition method and application for electro-optic spatial light modulator
Periodical title
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
No. or year of volume/issue
109(89) 2009.6.19
Volume
109
Issue
89