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雑誌電子情報通信学会技術研究報告 : 信学技報
Volume number110(14)-110(23):2010.4.23-2010.5.14
Articleガラス上におけるSi...

ガラス上におけるSiGe薄膜のアルミニウム誘起結晶化とその成長メカニズム (有機エレクトロニクス)

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ガラス上におけるSiGe薄膜のアルミニウム誘起結晶化とその成長メカニズム

(有機エレクトロニクス)

Call No. (NDL)
Z16-940
Bibliographic ID of National Diet Library
10667801
Material type
記事
Author
川畑 直之ほか
Publisher
東京 : 電子情報通信学会
Publication date
2010-04-23
Material Format
Paper
Journal name
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 110(16) 2010.4.23
Publication Page
p.13～17
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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
記事
Title
ガラス上におけるSiGe薄膜のアルミニウム誘起結晶化とその成長メカニズム
Author/Editor
川畑 直之
黒澤 昌志
佐道 泰造 他
Series Title
有機エレクトロニクス
Author Heading
川畑 直之
黒澤 昌志
佐道 泰造
Alternative Title
Al-induced crystallization of SiGe thin-films on glass and its growth mechanism
Periodical title
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
No. or year of volume/issue
110(16) 2010.4.23
Volume
110
Issue
16