ガラス上に形成された大粒径を有する低温poly-Si1-xGe[x]薄膜トランジスタの開発 (シリコン材料・デバイス)

ガラス上に形成された大粒径を有する低温poly-Si1-xGe[x]薄膜トランジスタの開発

(シリコン材料・デバイス)

Journal name: 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 110(351) 2010.12.17

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Material Type: 記事
Title: ガラス上に形成された大粒径を有する低温poly-Si1-xGe[x]薄膜トランジスタの開発
Author/Editor: 岡部泰典
近藤健二
広瀬研太他
Series Title: シリコン材料・デバイス
Author Heading: 岡部泰典
近藤健二
広瀬研太
Alternative Title: Lateral large-grained low-temperature poly-Si1-xGe[x] TFTs on glass substrate
Periodical title: 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
No. or year of volume/issue: 110(351) 2010.12.17
Volume: 110
Issue: 351
Pages: 79～82
Publication date of volume/issue (W3CDTF): 2010-12-17
ISSN (Periodical Title): 0913-5685
ISSN-L (Periodical Title): 0913-5685
Publication (Periodical Title): 東京 : 電子情報通信学会
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: Si1-xGe[x]
TFT
多結晶薄膜
太陽電池
polycrystalline film
solar cell
NDLC: ZN33
Target Audience: 一般
Report No. (Article): SDM2010-199
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Z16-940
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 10938358
http://id.ndl.go.jp/bib/10938358
Bibliographic Record Category (NDL): 632