Arガスクラスターを用いた低損傷有機物スパッタリング (表面分析研究会第35回研究会講演資料)

Arガスクラスターを用いた低損傷有機物スパッタリング

(表面分析研究会第35回研究会講演資料)

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Material Type: 記事
Title: Arガスクラスターを用いた低損傷有機物スパッタリング
Author/Editor: 宮山卓也
眞田則明
高原淳他
Series Title: 表面分析研究会第35回研究会講演資料
Author Heading: 宮山卓也
眞田則明
高原淳
Periodical title: Journal of surface analysis / 表面分析研究会編
No. or year of volume/issue: 17(2) 2010.12
Volume: 17
Issue: 2
Pages: A-88～93
Publication date of volume/issue (W3CDTF): 2010-12
ISSN (Periodical Title): 1341-1756
ISSN-L (Periodical Title): 1341-1756
Publication (Periodical Title): 東京 : 表面分析研究会
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: ZM35
Target Audience: 一般
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Z15-B66
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 10957186
http://id.ndl.go.jp/bib/10957186
Bibliographic Record Category (NDL): 632