アークイオンプレーティング法により作製したTiN,CrNおよびTiAlN膜の高温酸化特性 (素材小特集-4-界面反応と材料特性)

アークイオンプレーティング法により作製したTiN,CrNおよびTiAlN膜の高温酸化特性

(素材小特集-4-界面反応と材料特性)

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Material Type: 記事
Title: アークイオンプレーティング法により作製したTiN,CrNおよびTiAlN膜の高温酸化特性
Author/Editor: 川名淳雄
市村博司
Series Title: 素材小特集-4-界面反応と材料特性
Author Heading: 川名淳雄
市村博司
Periodical title: 資源と素材 : 資源・素材学会誌
No. or year of volume/issue: 108(12) 1992.12
Volume: 108
Issue: 12
Pages: p868～872
Publication date of volume/issue (W3CDTF): 1992-12
ISSN (Periodical Title): 0916-1740
ISSN-L (Periodical Title): 0916-1740
Publication (Periodical Title): 東京 : 資源・素材学会
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: ZP41
Target Audience: 一般
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Z17-315
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 3804071
http://id.ndl.go.jp/bib/3804071
Bibliographic Record Category (NDL): 632