X線光電子分光法におけるC1sスペクトル波形解析によるダイヤモンド薄膜の評価

• Material Type: 記事
• Title: X線光電子分光法におけるC1sスペクトル波形解析によるダイヤモンド薄膜の評価
• Author/Editor: 飯島 善時; 平岡 賢三
• Author Heading: 飯島 善時; 平岡 賢三
• Periodical title: 分析化学 / 日本分析化学会 編
• No. or year of volume/issue: 42(3) 1993.03
• Volume: 42
• Issue: 3
• Pages: p133～140
• Publication date of volume/issue (W3CDTF): 1993-03
• ISSN (Periodical Title): 0525-1931
• ISSN-L (Periodical Title): 0525-1931
• Publication (Periodical Title): 東京 : 日本分析化学会
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• NDLC: ZP4
• Target Audience: 一般
• Article Type: 記事分類: 化学・化学工業--無機化学・無機化学工業--非金属元素・非金属化合物--セラミックス
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• Access Restrictions: インターネット公開
• Availability of remote photoduplication service: 不可
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Z17-9
• Related Material (URI): http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10893043
• Related Material (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/10893043; http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10893043
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 3810483; http://id.ndl.go.jp/bib/3810483
• Bibliographic Record Category (NDL): 632

• Summary, etc.: X線光電子分光法(XPS)を用いて,C 1sスペクトルの形状解析より,ダイヤモンド薄膜の解析評価を試みた.その結果C 1sスペクトルの半値幅,ピークの対称性の解析より,XPSがダイヤモンド薄膜の評価,及び膜の構造解析に有効な分析法であることを明らかにした.(Provided by: CiNii Re...