気相および表面におけるラジカル生成のビーム実験(特集 材料プロセス用フルオロカーボンプラズマに関する基礎研究の進展)

• Material Type: 記事
• Title: 気相および表面におけるラジカル生成のビーム実験
• Author/Editor: 豊田 浩孝; 菅井 秀郎
• Series Title: 特集 材料プロセス用フルオロカーボンプラズマに関する基礎研究の進展
• Author Heading: 豊田 浩孝; 菅井 秀郎
• Periodical title: プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research / プラズマ・核融合学会編集委員会 編
• No. or year of volume/issue: 75(7) 1999.07
• Volume: 75
• Issue: 7
• Pages: 779～784
• Publication date of volume/issue (W3CDTF): 1999-07
• ISSN (Periodical Title): 0918-7928
• ISSN-L (Periodical Title): 0918-7928
• Publication (Periodical Title): 名古屋 : プラズマ・核融合学会編集委員会
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• NDLC: ZM35
• Target Audience: 一般
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• Access Restrictions: インターネット公開
• Availability of remote photoduplication service: 不可
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Z15-8
• Related Material (URI): http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10453666
• Related Material (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/10453666; http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10453666
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 4785256; http://id.ndl.go.jp/bib/4785256
• Bibliographic Record Category (NDL): 632

• Summary, etc.: Cross sections of electron-impact dissociative ionization and neutral radical production from fluorocarbon molecules or neutral radicals are reviewed....