原子間力顕微鏡を用いた微細レジストドットパターンの疲労解析

• Material Type: 記事
• Title: 原子間力顕微鏡を用いた微細レジストドットパターンの疲労解析
• Author/Editor: 森池 教夫; 河合 晃
• Author Heading: 森池 教夫; 河合 晃
• Periodical title: 日本接着学会誌 = Journal of the Adhesion Society of Japan : adhesion
• No. or year of volume/issue: 36(10) 2000
• Volume: 36
• Issue: 10
• Pages: 404～407
• Publication date of volume/issue (W3CDTF): 2000
• ISSN (Periodical Title): 0916-4812
• ISSN-L (Periodical Title): 0916-4812
• Publication (Periodical Title): 大阪 : 日本接着学会
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• NDLC: ZP16
• Target Audience: 一般
• Collection: 障害者向け資料
• Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
• Collection (Materials For Handicapped People:2): プレーンテキスト
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 雑誌; https://dl.ndl.go.jp/collections/A00002
• Access Restrictions: 国立国会図書館内限定公開
• Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象外
• Availability of remote photoduplication service: 可
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Z17-134
• Periodical Title (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/3257105; https://dl.ndl.go.jp/pid/3257105
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 5512198; http://id.ndl.go.jp/bib/5512198
• Bibliographic Record Category (NDL): 632

• Summary, etc.: 原子間力顕微鏡(AFM)の探針から微細レジストパターンに荷重を加えて破壊することで，パターンの破壊荷重を定量測定できる。直径が160nmであり，高さが593nmであるドット形状パターンに．一定荷重を繰り返し加えることで疲労破壊を引き起こした。疲労がない場合のパターンの破壊荷重は約90nNであった。し...