雑誌電子情報通信学会技術研究報告 : 信学技報
Volume number101(11)-101(19) 20010400-20010400
ArticleDPSS CWレーザ...

DPSS CWレーザを利用したガラス上の選択単結晶シリコン成長とそのトランジスタ特性 (電子デバイス--低温ポリSiTFTと有機EL技術)

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DPSS CWレーザを利用したガラス上の選択単結晶シリコン成長とそのトランジスタ特性

(電子デバイス--低温ポリSiTFTと有機EL技術)

Call No. (NDL)
Z16-940
Bibliographic ID of National Diet Library
5775398
Material type
記事
Author
原 明人ほか
Publisher
東京 : 電子情報通信学会
Publication date
2001-04-20
Material Format
Paper
Journal name
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 101(15) 2001.4.20
Publication Page
p.21～27
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Paper

Material Type
記事
Title
DPSS CWレーザを利用したガラス上の選択単結晶シリコン成長とそのトランジスタ特性
Author/Editor
原 明人
吉野 健一
竹内 文代 他
Series Title
電子デバイス--低温ポリSiTFTと有機EL技術
Author Heading
原 明人
吉野 健一
竹内 文代
Periodical title
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
No. or year of volume/issue
101(15) 2001.4.20
Volume
101
Issue
15
Pages
21～27