IT革命に向けたリソグラフィー技術論文小特集の発行にあたって (IT革命に向けたリソグラフィー技術論文小特集)

IT革命に向けたリソグラフィー技術論文小特集の発行にあたって

(IT革命に向けたリソグラフィー技術論文小特集)

Journal name: 電子情報通信学会論文誌. C, エレクトロニクス = The IEICE transactions on electronics. C / 電子情報通信学会編 84(12) (通号 408) 2001.12

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Material Type: 記事
Title: IT革命に向けたリソグラフィー技術論文小特集の発行にあたって
Author/Editor: 古室昌徳
Series Title: IT革命に向けたリソグラフィー技術論文小特集
Author Heading: 古室昌徳
Periodical title: 電子情報通信学会論文誌. C, エレクトロニクス = The IEICE transactions on electronics. C / 電子情報通信学会編
No. or year of volume/issue: 84(12) (通号 408) 2001.12
Volume: 84
Issue: 12
Sequential issue number: 408
Pages: 1129～1131
Publication date of volume/issue (W3CDTF): 2001-12
ISSN (Periodical Title): 1345-2827
ISSN-L (Periodical Title): 1345-2827
Publication (Periodical Title): 東京 : 電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: ZN33
Target Audience: 一般
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Z16-607
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 5994049
http://id.ndl.go.jp/bib/5994049
Bibliographic Record Category (NDL): 632