分子動力学法によるシリコン酸化膜の大規模モデリング(特集:半導体表面界面形成の微視的理解における理論の進展)

• Material Type: 記事
• Title: 分子動力学法によるシリコン酸化膜の大規模モデリング
• Author/Editor: 渡邉 孝信; 辰村 光介; 大泊 巖
• Series Title: 特集:半導体表面界面形成の微視的理解における理論の進展
• Author Heading: 渡邉 孝信; 辰村 光介; 大泊 巖
• Periodical title: 表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編
• No. or year of volume/issue: 23(2) 2002.2
• Volume: 23
• Issue: 2
• Pages: 74～80
• Publication date of volume/issue (W3CDTF): 2002-02
• ISSN (Periodical Title): 0388-5321
• ISSN-L (Periodical Title): 0388-5321
• Publication (Periodical Title): 東京 : 日本表面科学会
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• NDLC: ZM35
• Target Audience: 一般
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• Access Restrictions: インターネット公開
• Availability of remote photoduplication service: 不可
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Z15-379
• Related Material (URI): http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/8327187
• Related Material (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/8327187; http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/8327187
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 6066167; http://id.ndl.go.jp/bib/6066167
• Bibliographic Record Category (NDL): 632

• Summary, etc.: Large-scale modeling of ultra-thin SiO<Sub>2</Sub> films on Si(001) surfaces has been performed by means of molecular dynamics utilizing our original ...