雑誌電子情報通信学会技術研究報告 : 信学技報
Volume number102(412)-102(420) 20021000-20021000
Articleフルオロカーボンプラ...

フルオロカーボンプラズマのSiO2表面における反応ダイナミクスに関する計算化学的検討 (特集:プロセスクリーン化と新プロセス技術)

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フルオロカーボンプラズマのSiO2表面における反応ダイナミクスに関する計算化学的検討

(特集:プロセスクリーン化と新プロセス技術)

Call No. (NDL)
Z16-940
Bibliographic ID of National Diet Library
6360264
Material type
記事
Author
篠田 克己ほか
Publisher
東京 : 電子情報通信学会
Publication date
2002-10-29
Material Format
Paper
Journal name
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 102(416) 2002.10.29
Publication Page
p.1～3
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Paper

Material Type
記事
Title
フルオロカーボンプラズマのSiO2表面における反応ダイナミクスに関する計算化学的検討
Author/Editor
篠田 克己
横須賀 俊之
遠藤 明 他
Series Title
特集:プロセスクリーン化と新プロセス技術
Author Heading
篠田 克己
横須賀 俊之
遠藤 明
Periodical title
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
No. or year of volume/issue
102(416) 2002.10.29
Volume
102
Issue
416
Pages
1～3