反応性スパッタリング法によるε-,η-Mn窒素化合物薄膜の作製とその磁気的・電気的特性

• Material Type: 記事
• Title: 反応性スパッタリング法によるε-,η-Mn窒素化合物薄膜の作製とその磁気的・電気的特性
• Author/Editor: 森尾 和正; 小泉 義晴
• Author Heading: 森尾 和正; 小泉 義晴
• Periodical title: 日本応用磁気学会誌
• No. or year of volume/issue: 27(4) (通号 183) 2003
• Volume: 27
• Issue: 4
• Sequential issue number: 183
• Pages: 344～347
• Publication date of volume/issue (W3CDTF): 2003
• ISSN (Periodical Title): 0285-0192
• ISSN-L (Periodical Title): 0285-0192
• Publication (Periodical Title): 東京 : 日本磁気学会
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• Subject Heading: ε-Mn4Nthinfilm; η-Mn3N2film
• NDLC: ZM35
• Target Audience: 一般
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• Access Restrictions: インターネット公開
• Availability of remote photoduplication service: 不可
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Z15-398
• Related Material (URI): http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10466174
• Related Material (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/10466174; http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10466174
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 6506056; http://id.ndl.go.jp/bib/6506056
• Bibliographic Record Category (NDL): 632

• Summary, etc.: Polycrystalline thin films with an oriented direction of ε-Mn₄N along the (111) axis and η-Mn₃N₂ along the (113) axis...