MOVPE法による各種基板上へのInN膜の成長及び評価

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MOVPE法による各種基板上へのInN膜の成長及び評価

Call No. (NDL)
Z16-940
Bibliographic ID of National Diet Library
6618918
Material type
記事
Author
下野 健二ほか
Publisher
東京 : 電子情報通信学会
Publication date
2003-05-15
Material Format
Paper
Journal name
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 103(50) 2003.5.15
Publication Page
p.19~24
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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
記事
Author/Editor
下野 健二
神保 正宏
渡辺 康弘 他
Periodical title
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
No. or year of volume/issue
103(50) 2003.5.15
Volume
103
Issue
50
Pages
19~24
Publication date of volume/issue (W3CDTF)
2003-05-15