高アスペクト比微細構造におけるウェット洗浄の限界とパターン破壊フリー洗浄技術 (特集プロセスクリーン化と新プロセス技術)

高アスペクト比微細構造におけるウェット洗浄の限界とパターン破壊フリー洗浄技術

(特集プロセスクリーン化と新プロセス技術)

Journal name: 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 103(374) 2003.10.21

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Material Type: 記事
Title: 高アスペクト比微細構造におけるウェット洗浄の限界とパターン破壊フリー洗浄技術
Author/Editor: 嵯峨幸一郎
国安仁
服部毅
Series Title: 特集プロセスクリーン化と新プロセス技術
Author Heading: 嵯峨幸一郎
国安仁
服部毅
Periodical title: 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
No. or year of volume/issue: 103(374) 2003.10.21
Volume: 103
Issue: 374
Pages: 15～20
Publication date of volume/issue (W3CDTF): 2003-10-21
ISSN (Periodical Title): 0913-5685
ISSN-L (Periodical Title): 0913-5685
Publication (Periodical Title): 東京 : 電子情報通信学会
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 表面張力
応力
Cleaning
Fine structure
Surface Tension
Stress
High aspect ratio
Stiction
NDLC: ZN33
Target Audience: 一般
Report No. (Article): SDM2003-172
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Z16-940
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 6767090
http://id.ndl.go.jp/bib/6767090
Bibliographic Record Category (NDL): 632