サドンデスTEGとOBIRCHを用いたダマシンCu配線のエレクトロマイグレーション評価

Icons representing 記事

サドンデスTEGとOBIRCHを用いたダマシンCu配線のエレクトロマイグレーション評価

Call No. (NDL)
Z14-2023
Bibliographic ID of National Diet Library
6784828
Material type
記事
Author
横川 慎二
Publisher
東京 : 日本信頼性学会
Publication date
2003-11
Material Format
Paper
Journal name
信頼性 = The journal of Reliability Engineering Association of Japan : 日本信頼性学会誌 25(8) (通号 132) 2003.11
Publication Page
p.811~820
View All

Bibliographic Record

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Paper

Material Type
記事
Author/Editor
横川 慎二
Author Heading
Periodical title
信頼性 = The journal of Reliability Engineering Association of Japan : 日本信頼性学会誌
No. or year of volume/issue
25(8) (通号 132) 2003.11
Volume
25
Issue
8
Sequential issue number
132
Pages
811~820