誘導結合RFプラズマCVD法によるカーボンナノチューブ配向成長(小特集 プラズマプロセスによるカーボンナノチューブ配向成長の現状と課題)

• Material Type: 記事
• Title: 誘導結合RFプラズマCVD法によるカーボンナノチューブ配向成長
• Author/Editor: 本多 信一; 尾浦 憲治郎; 片山 光浩
• Series Title: 小特集 プラズマプロセスによるカーボンナノチューブ配向成長の現状と課題
• Author Heading: 本多 信一; 尾浦 憲治郎; 片山 光浩
• Periodical title: プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research / プラズマ・核融合学会編集委員会 編
• No. or year of volume/issue: 81(9) 2005.9
• Volume: 81
• Issue: 9
• Pages: 660～664
• Publication date of volume/issue (W3CDTF): 2005-09
• ISSN (Periodical Title): 0918-7928
• ISSN-L (Periodical Title): 0918-7928
• Publication (Periodical Title): 名古屋 : プラズマ・核融合学会編集委員会
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• Subject Heading: aligned carbon nanotube; aligned carbon nanofiber; inductively coupled plasma; chemical vapor deposition; low-temperature process; hydrogen species
• NDLC: ZM35
• Target Audience: 一般
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• Access Restrictions: インターネット公開
• Availability of remote photoduplication service: 不可
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Z15-8
• Related Material (URI): http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10456023
• Related Material (Persistent ID (NDL)): info:ndljp/pid/10456023; http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10456023
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 7678007; http://id.ndl.go.jp/bib/7678007
• Bibliographic Record Category (NDL): 632

• Summary, etc.: Inductively coupled plasma chemical vapor deposition combined with substrate biasing using a gas mixture of methane and hydrogen was applied to low-te...