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マイクロ超音波センサにおけるダンピングホールの最適設計 (特集 進化する超音波加工技術)

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マイクロ超音波センサにおけるダンピングホールの最適設計(特集 進化する超音波加工技術)

Call No. (NDL)
Z14-1555
Bibliographic ID of National Diet Library
7732123
Material type
記事
Author
青柳 誠司ほか
Publisher
東京 : 日本工業出版
Publication date
2005
Material Format
Paper
Journal name
超音波techno / 超音波techno編集部 編 17(6) (通号 177) 2005.11・12
Publication Page
p.1~6
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Paper Digital

Material Type
記事
Author/Editor
青柳 誠司
古川 克英
Periodical title
超音波techno / 超音波techno編集部 編
No. or year of volume/issue
17(6) (通号 177) 2005.11・12
Volume
17
Issue
6
Sequential issue number
177