雑誌NTT技術ジャーナル
Volume number19(1) (通号 214)-19(6) (通号 219) 20070100-20070600
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16nm技術ノードへ向けたブロック共重合体リソグラフィ (特集 新しい機能性ナノ構造にかかわる基礎研究)

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16nm技術ノードへ向けたブロック共重合体リソグラフィ(特集 新しい機能性ナノ構造にかかわる基礎研究)

Call No. (NDL)
Z16-1991
Bibliographic ID of National Diet Library
8672844
Material type
記事
Author
山口 徹ほか
Publisher
東京 : 電気通信協会
Publication date
2007-02
Material Format
Digital
Journal name
NTT技術ジャーナル / 日本電信電話株式会社 編 19(2) (通号 215) 2007.2
Publication Page
p.9～12
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Digital

Material Type
記事
Title
16nm技術ノードへ向けたブロック共重合体リソグラフィ
Author/Editor
山口 徹
山口 浩司
Series Title
特集 新しい機能性ナノ構造にかかわる基礎研究
Author Heading
山口 徹
山口 浩司
Periodical title
NTT技術ジャーナル / 日本電信電話株式会社 編
No. or year of volume/issue
19(2) (通号 215) 2007.2
Volume
19
Issue
2
Sequential issue number
215