SOI膜厚5nmの(100)面極薄nMOSFETにおける移動度ユニバーサリティ (集積回路)

Icons representing 記事

SOI膜厚5nmの(100)面極薄nMOSFETにおける移動度ユニバーサリティ

(集積回路)

Call No. (NDL)
Z16-940
Bibliographic ID of National Diet Library
8896257
Material type
記事
Author
清水 健ほか
Publisher
東京 : 電子情報通信学会
Publication date
2007-08
Material Format
Paper
Journal name
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 107(195) 2007.8.23・24
Publication Page
p.107~111
View All

Bibliographic Record

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Paper

Material Type
記事
Author/Editor
清水 健
平本 俊郎
Series Title
Alternative Title
Experimental study on mobility universality in (100) ultra thin body nMOSFET with SOI thickness of 5nm
Periodical title
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
No. or year of volume/issue
107(195) 2007.8.23・24
Volume
107
Issue
195