MEMSスキャナによ...

MEMSスキャナによる小型三次元計測システム (特集 光MEMSの現状と展望)

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MEMSスキャナによる小型三次元計測システム

(特集 光MEMSの現状と展望)

Call No. (NDL)
Z16-2199
Bibliographic ID of National Diet Library
9283581
Material type
記事
Author
吉澤 徹ほか
Publisher
東京 : 日本工業出版
Publication date
2007-12
Material Format
Paper
Journal name
光アライアンス / 光アライアンス編集委員会 編 18(12) (通号 207) 2007.12
Publication Page
p.6~8
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Paper

Material Type
記事
Author/Editor
吉澤 徹
若山 俊隆
Alternative Title
3D profile measurement system using a MEMS scanner
Periodical title
光アライアンス / 光アライアンス編集委員会 編
No. or year of volume/issue
18(12) (通号 207) 2007.12
Volume
18
Issue
12