集積化センサのあゆみとMEMS技術 (第24回センシングフォーラム資料--センシング技術の新たな展開と融合 ; ネットワークセンシングシステムとMEMS--ネットワークセンシングシステム部会企画OS)

集積化センサのあゆみとMEMS技術

(第24回センシングフォーラム資料--センシング技術の新たな展開と融合 ; ネットワークセンシングシステムとMEMS--ネットワークセンシングシステム部会企画OS)

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Material Type: 記事
Title: 集積化センサのあゆみとMEMS技術
Author/Editor: 前中一介
Series Title: 第24回センシングフォーラム資料--センシング技術の新たな展開と融合 ; ネットワークセンシングシステムとMEMS--ネットワークセンシングシステム部会企画OS
Author Heading: 前中一介
Alternative Title: Progress of intelligent sensors and MEMS technology
Periodical title: センシングフォーラム資料
No. or year of volume/issue: 24 2007.10.25・26
Volume: 24
Pages: 19～24
Publication date of volume/issue (W3CDTF): 2007-10
ISSN (Periodical Title): 1343-7631
ISSN-L (Periodical Title): 1343-7631
Publication (Periodical Title): 東京 : 計測自動制御学会計測部門
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: ZM15
Target Audience: 一般
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Z14-2000
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 9288995
http://id.ndl.go.jp/bib/9288995
Bibliographic Record Category (NDL): 632